電気泳動堆積法によるセラミック機能膜の微構造組織制御
石井 健斗 (特任助教)
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電気泳動堆積法は、液中の微粒子に電場を印加することで粒子を泳動させ電極基板に堆積・成膜する方法です。スラリー中の粒子の分散・凝集状態により多様な組織の膜を形成することが可能です。
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