フェムト秒レーザーを用いた微細加工
宮川 鈴衣奈 (助教)
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従来の微細加工技術における「微細化」、「プロセスの煩雑さ」の両方を改善する、新たな微細加工技術の開発に取り組んでいます。超短パルスレーザーを用いることで、材料への熱的ダメージも抑制した加工を可能にします。
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